各類真空計性能及參數(shù)
2024.06.21
各類真空計性能及參數(shù)
|
真空計原理 |
名稱 |
量程Pa |
精度 |
反應(yīng)時間 |
備注 |
||
|
力 |
重力 |
液體真空計 |
汞柱壓力計 |
105~102 |
10% |
幾秒 |
① |
|
基準(zhǔn)汞柱壓力計 |
104~10(10-1) |
||||||
|
油柱壓力計 |
103~10 |
1% |
幾秒至幾分 |
||||
|
基準(zhǔn)油柱壓力計 |
102~10-2(10-3) |
||||||
|
壓縮式真空計 |
103~10-1(10-6) |
＜3% |
幾分 |
①④ |
|||
|
機械力 |
變形計 |
彈簧管真空計 |
105~103 |
10% |
幾秒 |
① |
|
|
膜盒真空計 |
105~102 |
＜10% |
幾秒 |
||||
|
薄膜電容真空計 |
103~10-2 |
＜1% |
＜1s |
② |
|||
|
薄膜應(yīng)變真空計 |
105~102 |
① |
|||||
|
阻尼力 |
黏滯計 |
振幅衰減真空計 |
1~10-3 |
10%-100% |
幾秒 |
- |
|
|
磁懸轉(zhuǎn)子真空計 |
1~10-4 |
- |
- |
- |
|||
|
振膜真空計 |
104~10-1 |
≤±2% |
＜1s |
- |
|||
|
分子力 |
熱輻射真空計 |
1~10-5 |
＜10% |
幾秒至幾十秒 |
② |
||
|
氣體分子熱傳導(dǎo)（熱傳導(dǎo)真空計） |
電阻真空計 |
102~10-1(10-2) |
10%~100% |
定溫型約1s |
③ |
||
|
熱偶真空計 |
102~10-1 |
幾秒 |
|||||
|
半導(dǎo)體真空計 |
102~10-3 |
幾秒 |
|||||
|
熱電堆真空計 |
102~10-1 |
- |
|||||
|
氣體對流 |
對流真空計 |
105~102 |
- |
- |
|||
|
氣體電離 |
荷能粒子 |
熱陰計 |
電離真空計 |
10-1~10-5 |
10%~20% |
10-3s |
③ |
|
中真空電離真空計 |
102~10-4 |
||||||
|
B-A電離真空規(guī) |
10-1~10-8 |
||||||
|
熱陰磁控計 |
10-5~10-11(10-13) |
||||||
|
放射源（α）電離真空計 |
104(105)~10-1 |
10% |
0.1s |
||||
|
自持放電 |
冷陰計 |
潘寧計 |
1~10-4 |
20%~50% |
0.1s |
||
|
反磁控真空計 |
10-2~10-9(10-11) 10~10-3 |
||||||
|
正磁控真空計 |
10-2~10-8 102~10-3 |
||||||
|
放電管真空計 |
102~10-1 |
- |
＜1s |
||||
備注一欄中：
真空泵維修 進(jìn)口真空泵維修 廈門各類型真空泵維修
廈門真空泵 廈門真空泵維修 泉州真空泵 泉州真空泵維修 莆田真空泵 莆田真空泵維修 漳州真空泵 漳州真空泵維修 廈門真空泵 廈門真空泵維修 廈門螺桿真空泵 廈門螺桿真空泵維修 干式真空泵維修 干式螺桿真空泵維修 萊寶干式螺桿真空泵維修
